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卓立漢光壓電 · 線性位移臺— 閉環LS65x.Lab.O / .R
詳細信息| 詢價留言壓電 · 線性位移臺— LS65x.Lab.O / .R (閉環)
室溫 ·壓電運動解決⽅案 —“.Lab 系列“ 良好封裝的位移臺
外形緊湊,動⼒性能不折扣的壓電線性臺;同時保證優質的價格空間。
壓電 · 線性位移臺— LS65x.Lab.O / .R (閉環)產品特⾊
• 超安靜運動, 20 kHz驅動頻率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設計
• 閉環控制 · 位置傳感⽀持電阻型(.R) 和光學型(.O)
• ⾼精度 · 空間傳感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可選
• 經濟型 · 空間傳感分辨率(.R) 100-200nm
• *⼩步伐優于 10 nm
• 可提供多軸堆疊安裝轉接件
• 控制器兼容旋轉臺,搖擺臺
• ⽀持⽆磁( .NM)、⾼真空( .HV)和超⾼真空 ( .UHV)選件
LS65x.Lab.O / .R 壓電線性臺 — 技術參數
可選版本 ⇨
正常版本
.NM
.HV
.UHV
.NM 絕對⽆磁版本;
.HV, ⾼真空版本 ;
.UHV ,超⾼真空版本;
1 底⾯尺⼨*⾼度
65 × 65 mm × 12 mm
2 主體材料
不銹鋼
純鈦
不銹鋼
不銹鋼
3 線纜 & 接頭
標準屏蔽線纜
DSub9 接頭
kapton漆包線,
PEEK-2mm插針
運動參數-空間推薦安裝形式 I. (下列性質均在推薦安裝形式下測得)
4 運動⾏程
30 mm
5 *⼤速度
~ 20 mm/s
6 *⼩步伐
~ 10 nm
7 驅動頻率
Max. 20 kHz (超安靜運動)
8 *⼤⽔平推⼒
2 N
9 保持⼒
5 N
0.3 mrad / 0.2 mrad
10 全⾏程俯仰/偏擺
運動參數-空間推薦安裝形式 II. (下列性質均在推薦安裝形式下測得)
11
*⼤垂直負載
2 N
12
保持⼒
5 N
傳感精度
13 位置傳感類型
- 電阻型傳感( .R )
- 光柵尺傳感( .O )
14 位置傳感量程
30 mm
15 位置傳感分辨率
- 電阻型傳感( .R ), 100-200 nm
- 光柵尺傳感( .O ), 10 nm, 1nm可選(默認 10nm)
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