可選版本 ⇨

正常版本

.NM

.HV

.UHV

.NM     絕對⽆磁版本；

.HV，     ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1        運動⽅向

X   Y

2        外形尺⼨

250 mm × 200 mm × 30 mm

3        必須安裝空間

325 mm × 250 mm

4        有效穿孔

85 mm × 65 mm

5        主體材料

鋁合⾦

6        線纜 & 接頭

標準屏蔽線纜

DSub9 接頭

kapton漆包線，

PEEK-2mm插針

7        ⼯作溫度

10 – 40 °C

運動參數-空間推薦安裝形式 I.  (下列性質均在推薦安裝形式下測得)

8        運動⾏程

75 mm × 50 mm

9        *⼤速度

~ 20 mm/s

10       *⼩步伐

~ 30 nm

11       驅動頻率

Max. 20 kHz   (超安靜運動)

12       *⼤負載

2 kg

13       全⾏程俯仰/偏擺

0.8 mrad

傳感精度

14       位置傳感類型

- 電阻型傳感( .R )

- 光柵尺傳感( .O )

75 mm × 50 mm

15       位置傳感量程

- 電阻型傳感( .R )，   100-200 nm

- 光柵尺傳感( .O )，   10 nm，   1nm可選(默認 10nm)

16       位置傳感分辨率