可選版本 ⇨

正常版本

.NM     絕對⽆磁版本；

.HV，     ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1           底⾯尺⼨*⾼度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2           主體材料

鋁合⾦

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           運動⾏程

200 um × 200 um

5            閉環分辨率

優于1nm

6           推薦*⼤負載

500 g

7            閉環傳感器

電容式

8            電容精度

0.3 nm

9           壓電電容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 攝⽒度

10          推薦使⽤溫度

11          質量

1 kg

12          安裝

螺紋孔⾃動兼容 Carrier.L7550.XY